多点同時測定CCD分光器
概要
多点同時測定CCD分光器は複数のサンプルおよび光源を同時に観察、測定することが可能です。従来の多点測定が可能な分光器は研究室およびオフラインの使用目的を想定された高額で筐体が大きな物でした。
Mightex社は最先端の光学系とCCDカメラを組み合わせることにより低価格の多点同時測定できる分光器を実現しました。
複数のファイバーに入射された光は高効率のグレーティングによって分光され2D CCDセンサーに投影されます。それぞれの光はCCDの異なるピクセル列によって検出され、同時に測定されます。ファイバーチャネルは適切な間隔で配置され、隣接するチャネル間のクロストークを本質的に排除します。
露光時間は50μsから200sで設定可能です。
標準で光源や外部機器との連携が可能なトリガーインプット機能とプログラム可能なデジタルI/Oを備えています。
ソフトウエアパッケージはは開発用のSDKを含んでいます。またご要望に応じて絶対値および光度校正が可能です。
ウエハーの多点膜厚測定、複数サンプルの吸光度、透過測定などでの使用が検討できます。
データシート:
Mightex multi-channel spectrometer datasheet (.pdf file, 957KB)
ソフトウエア:
Mightex multi-channel spectrometer software package download (.zip file, 7.56MB)
特徴
- 6チャンネルを同時に測定可能
- 動作パーツなし
- 高分解能
- 高スループット
- トリガーインプット
アプリケーション
- LED分別
- ディスプレイ測定
- 研究開発
- ウエハー膜厚測定
- 工程管理
- 環境測定
製品情報
モデル | ISP-VIS-MC006-A | 単位 |
---|---|---|
チャンネル数 | 6 or 12 | |
光学デザイン | f/4, Czerny-Turner | |
焦点距離 | 100 | mm |
波長範囲 | 380-780 | nm |
分解能¹ | 1.2 | nm |
2次光カット | ロングパス | |
入射スリット | 5, 10, 25, 50, 100, 200μm or スリットなし | μm |
ファイバー | SMA905 | |
ファイバーNA | 0.22 | |
ディテクター | Sony ICX205AL | |
ピクセル数 | 1392×1040 | |
ピクセルサイズ | 4.65×4.65 | μm |
Pixel Well Depth² | 200000 | electron |
SN比 | 1000;1 | |
A/D分解能 | 12 | bit |
積算時間 | 0.05 to 200000 | ms |
フレームレート | 15@8bit, 9@12bit | fps |
ハードウエアゲイン | 6-43dB | |
GPIO | 4 | |
トリガーインプット | 可能 | |
トリガーディレイ | <25 | μs |
PCインターフェース | USB2.0 | |
トリガー/GPIOインターフェース | DIN8 | |
PCスペック | Windows2000/XP/Vista/7/8/10 | |
消費電力 | 1.8 | W |
重量 | 840 | g |
(1)10μmスリットの場合 (2)ビンニング後
波長分解能(FWHM,nm) vs スリット幅(μm)
スリット幅 | 5 | 10 | 25 | 50 | 100 | 200 |
---|---|---|---|---|---|---|
ISP-VIS-MC006-A-XXX | 1.1 | 1.2 | 1.7 | 2.4 | 4.0 | 7.1 |
推奨環境
Processor: Pentium 4 1.8GHz or higher
Operating System: Windows 2000, XP, Vista, Windows 7 and 8
RAM: 512M or greater
Hard Disk Space: 50M for software installation, plus additional space for storing data
USB Host Controller: USB2.0 Enhanced Controller, which supports USB2.0 High-Speed. (480Mbps).