VUV波長とはVacuum Ultra Violet、200nm以下の真空紫外の帯域を指します。大気環境下では光が吸収されてしまうため、使用するためには大気が存在しない真空環境を用意する必要があります。400nm以下のUVA、UVB、UVC波長と異なり実験環境を整備するハードルが高いですが、光洗浄や表面改質、光イオン化(ガス測定)などで利用されています。

Resonance ltdではVUV(真空紫外線)波長を発光する無電極光源に加えて100nm以下のEUV(極紫外)波長を発光するガスフロー光源、光イオン化で使用するPIDランプ、真空チャンバーに接続できるVUV/EUV波長に対応した分光器、モノクロメーターなどを開発、製造しております。